Để duy trì hoạt động ổn định của máy lithography, cần thiết phải cài đặt hệ thống làm mát bên trong máy lithography.Hệ thống làm mát của máy lithography chủ yếu bao gồm làm mát bằng nước, làm mát bằng không khí ép buộc, chất làm mát, hydro và helium và các phương pháp khác, trong đó làm mát bằng nước là dòng chính.Hệ thống làm mát nước bên trong máy lithography đi qua nước thông qua bộ tản nhiệt bên trong thông qua ống nước, lấy nhiệt khi nó chảy qua các bộ phận nhiệt độ cao bên trong và phân tán nhiệt thông qua bộ tản nhiệt bên ngoài,do đó duy trì môi trường nhiệt độ thấp bên trong máy litho và đảm bảo hoạt động ổn định của máy litho.